Baru -baru ini, perusahaan sains dan teknologi material domestik telah berhasil mengembangkan jenis baru bahan keramik silikon karbida dengan kemurnian setinggi 99 . 999%, dan terobosan ini akan secara signifikan meningkatkan kinerja dan keandalan persyaratan yang berkepentingan dengan persyaratan semikonduktor . dengan persyaratan proses semikonduktor {. dengan persyaratan proses semikonduktor {{{2} dengan proses semikonduktor {{2} dengan proses semikonduktor {{2} dengan proses semikonduktor {{2} dengan proses semikonduktor semikonduktor semikonduktor semikonduktor Terobosan teknologi ini untuk peningkatan peralatan semikonduktor domestik memberikan dukungan material yang penting.
Sorotan terobosan teknis:
1. Ultra-High Purity Control: Konten pengotor logam dikendalikan ke bawah 0 . 1ppm melalui proses pengendapan fase uap inovatif dan teknologi pemurnian, memenuhi persyaratan proses 7nm dan di bawah.
2. kinerja termal yang sangat baik: kinerja stabil pada 1000 derajat dengan konduktivitas termal 270W/mk .
3. Resistensi korosi yang sangat baik: Tahan terhadap asam kuat, basa kuat dan lingkungan korosif plasma .
Keuntungan Aplikasi Peralatan Semikonduktor:
1. Etching Equipment: Digunakan sebagai bahan lapisan rongga untuk mengurangi kontaminasi logam dan meningkatkan keseragaman etsa
2. pertumbuhan epitaxial: digunakan sebagai baki dan pangkalan untuk memastikan kualitas lapisan epitaxial .
3. Implantasi ion: menggantikan komponen kuarsa tradisional dan memperluas interval pemeliharaan peralatan .
Seorang ahli dari CeramicStimes mengatakan, "Manufaktur semikonduktor bergerak menuju node proses yang lebih baik, dan keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi akan menjadi bahan utama untuk peralatan generasi berikutnya . Terobosan ini akan secara efektif mengurangi ketergantungan China pada bahan impor untuk peralatan semikonduktor {{3}" "
Saat ini, material telah lulus tes verifikasi produsen peralatan semikonduktor domestik utama dan diharapkan untuk mencapai produksi massal pada kuartal keempat 2024. dengan pengembangan cepat teknologi yang muncul seperti 5G dan intelijen buatan yang diperkirakan pada 20 pillicon akan terus bertambah, dan itu diharapkan pada 20 silicon carbide ceram akan terus bertambah, dan itu diharapkan pada bulan pada 20 silicon ceram akan terus bertambah, dan itu diharapkan pada bulan pada 20, plobal purbity carbide ceram akan terus bertambah, dan itu diharapkan pada bulan pada 20 silicon ceram akan terus bertambah, dan itu diharapkan pada bulan pada 20 pitaber 6 Ceramsing akan terus tumbuh, dan itu diharapkan pada 20 yuan .
Dinamika Bisnis:
Ceramicstimes menginvestasikan 500 juta yuan untuk membangun lini produksi khusus, penyelesaian proyek kapasitas produksi tahunan hingga 200, 000 karya, akan secara efektif memenuhi kebutuhan produsen peralatan semikonduktor domestik . pada saat yang sama, perusahaan ini bekerja dengan sejumlah institusi penelitian untuk mengoptimalkan properti yang mengoptimalkan semak -semaknya semu ini bekerja semikonden dengan sejumlah institusi penelitian untuk beberapa institusi untuk mengoptimalkan semir -bagian yang dioptimalkan semikon. Solusi .
Terobosan teknologi ini tidak hanya mengisi kekosongan keramik silikon karbida silikon tinggi domestik, kontrol yang lebih independen terhadap peralatan semikonduktor China memberikan jaminan material yang penting, akan sangat mempromosikan proses lokalisasi rantai industri semikonduktor .
